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干式无油
      清洁的真空环境

集成一体式干式螺杆真空泵Neovac SG600/SG1200系列

概括:完美应用于晶硅铸锭,高性能,长使用寿命。干式螺杆真空泵广泛应用于晶硅铸锭、真空炉、半导体、化工等行业干式螺杆真空泵适用于大多真空系统和应用场合


产品特点

参数规格

型号

SG600

SG1200

 

抽速

M³/h

500/600

1000/1200

L/min

8333/10000

16667/20000

 

极限压力

mbar

1.33 x 10-3 / 6.66x10-4

Torr

1x10-3 / 5x10-4

Pa

1.33 x 10-1 / 6.66x10-2

功率

Kw

7.4

9.2

 

口径

进气口

ISO 100

排气口

NW 40

冷却水

L/min

≥3

≥5

重量

Kg

290

380

集成一体式干式螺杆真空泵Neovac SG600/SG1200系列应用领域

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