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干式无油
      清洁的真空环境

集成一体式干式螺杆真空泵Neovac S系列

概括:Neovac是韩国真空巨头之一的KOWEL公司旗下一体化设计真空产品系类,具有清洁、高速、高效的特点,特别适用于半导体、电子器件等精密工艺。

韩国Kowel公司几十年来一直致力于真空技术及产品的研发生产,产品质量及性能都具有较高的可靠性。地处大湾区的区域优势及雅迪勤多年来的通用机械经验,使得Kowel将NEOVAC系列授权我司。


产品特点

参数规格

型号

SS 120

SS 200

SS 300

气量
     (50/60Hz)

m³/h

100 / 120

155 / 187

267 / 320

L/min

1666 / 2000

2583 / 3117

4450 / 5333

极限压力(50/60Hz)

mbar

2.6×10-2/ 6×10-3

1×10-2/ 6×10-3

9×10-3 / 1.3×10-3

Torr

2×10-2 / 5×10-3

8×10-3 / 5×10-3

7×10-3/ 1×10-3

Pa

2.66 / 0.66

1.06 / 0.66

0.93 / 0.13

功率

Kw

3.7

5.5

7.5

口径

进气口

NW50

NW50

NW50

排气口

NW40

NW40

NW50

噪音

db

<65

<65

<65

齿轮油

L

0.45

0.45

1.6

冷却水流量

L/min

3

3

7

重量

kg

210

350

470


型号

SS 600W

SS1200W

SS1800W

SS2400W

SS3000W

SS5000W

气量
     (50/60Hz)

m³/h

568 / 660

930 / 1220

1552 / 1862

2026 / 2432

3000

5000

L/min

11000

20333

31033

40533

50000

83333

极限压力(50/60Hz)

mbar

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

6×10-4

Torr

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

5×10-4

Pa

0.06

0.06

0.06

0.06

0.06

0.06

功率

Kw

7.4

7.4

11

15

18.5

30

口径

进气口

ISO100

ISO100

ISO160

ISO160

ISO200

ISO320

排气口

NW40

NW40

NW40

NW50

ISO63

ISO80

噪音

db

<65

<65

<65

<65

<65

<65

齿轮油

L

1.8

1.8

4.2

5.6

5.6

14.2

冷却水流量

L/min

4~5

4~5

5~7

11

15

28

重量

kg

340

460

740

970

1070

1600


集成一体式干式螺杆真空泵Neovac S系列应用领域

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